徐宗伟
,
兀伟
,
张少婧
,
赵兵
中国材料进展
doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2013.12.06
概述了基于聚焦离子束（ Focused Ion Beam， FIB）加工技术制备金刚石切削刀具的相关研究进展，并介绍了金刚石刀具在超精密加工领域的研究背景及其制造现状。作为一种先进的微纳制造技术，聚焦离子束已在微尺度金刚石刀具制造研究中发挥了重要作用。针对金刚石刀具的刃口半径、刃形精度等核心参数，国内外相关研究者开展了聚焦离子束制造方法与工艺优化研究，实现了高质量刀具的制造，聚焦离子束加工可获得刃口半径为15～22 nm 的金刚石刀具制造。从微观切削基础和微纳光学元件制造两个角度，论述了聚焦离子束制造金刚石刀具的应用研究进展，介绍了其在纳米切削机理、微纳尺度光学元件制造中的应用。最后从提高FIB制造效率、应用研究拓展等角度，对该领域未来的发展进行了展望。
关键词:
聚焦离子束
,
先进制造
,
超精密加工
,
金刚石刀具
韩伟
,
肖思群
中国材料进展
doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2013.12.02
简单介绍了聚焦离子束（ FIB）的历史和工作原理，以及将离子束和电子束合为一体的双束系统。具体讨论了双束系统上的主要功能，如离子束镜筒、气体注入系统（ GIS）、超高分辨率的扫描电镜镜筒及将离子束和电子束合为一体的独特优势。例举了双束系统的一系列应用，如制作纳米图形用的多种加工方法，气体注入系统在制作纳米图形中的应用，透射电镜及原子探针的样品制备，三维形貌表征，三维能谱成分表征，三维 EBSD 晶体位相表征和电路修补。详细介绍了这些相关应用的发展现状及特点，比较了各种应用的优缺点。文章还介绍了在中国科研领域双束系统的应用状况及中国科研工作者利用双束系统获得的重要成果。
关键词:
聚焦离子束
,
气体注入系统
,
微纳图形加工
,
三维表征
吴园园
,
洪慧敏
,
张珂
冶金分析
doi:10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.009750
以MnS易切削钢和E H36电渣焊焊缝区样品为研究对象，首先利用聚焦离子束扫描电镜的自动系列切片和成像（Auto Slice ＆ View ）功能对夹杂物进行逐层切片并成像，然后利用A mira软件根据夹杂物的衬度进行三维重构，从而得到钢铁材料中单一夹杂物及复合夹杂物的形态和分布。其中，复合夹杂物的物相确定还结合了电子探针的元素面分析和电子背散射衍射的物相分析功能。结果表明，MnS易切削钢中的夹杂物呈现条形体、纺锤形体和椭球形体共存的分布状态，而EH36电渣焊焊缝区的复合夹杂物主要由晶态Mn2 TiO4相和富集Al、Ca、Mg、Si、Mn、O元素的非晶相组成，且两种相伴生存在。夹杂物的三维重构图清晰显示了夹杂物的形态和分布特征，对于研究夹杂物对钢材性能的影响提供了重要依据。
关键词:
聚焦离子束
,
三维重构
,
自动切片与成像
,
夹杂物
,
形态和分布
